Aluminiumtechnologie

Aluminiumtechnologie,

 

älteres Verfahren bei der Herstellung von Chips. Dabei werden die leitenden Verbindungen der integrierten Schaltung als dünne Aluminiumstege ausgeführt. Diese relativ preiswerte Technologie setzt der Miniaturisierung von Chips Grenzen, da die Mindestbreiten der Aluminiumstege sowie der Abstände zwischen ihnen vergleichsweise groß sind (Strukturbreite). Aluminium ist kein besonders guter elektrischer Leiter. Werden die Leiterbahnen zu schmal ausgeführt oder liegen sie zu dicht nebeneinander, treten unerwünschte und problematische Effekte auf: Der elektrische Widerstand steigt, zugleich nimmt die Wärmeentwicklung zu. Für besonders geringe Strukturbreiten wird daher die Kupfertechnologie eingesetzt.